반도체 등급 99.9995% 고순도 석영 플랜지/에칭용 링(PQ871E/PQ811E)

기본정보

모델 번호.	PQ871E/PQ811E
사용	석영 플랜지
운송 패키지	나무로 되는 케이스, 판지 상자
사양	고객화
등록 상표	PQ
기원	중국
생산 능력	100/일

포장 및 배송

패키지 크기 100.00cm * 100.00cm * 74.00cm 패키지 총중량 50.000kg

제품 설명

애플리케이션
반도체 등급의 석영 실린더가 사용됩니다.
반도체 에칭에 사용되는 석영 링의 모재
프로세스.

형질
반도체 등급 석영 실린더는 고순도, 미세 기포 없음, 낮은 수산기 등을 특징으로 합니다.사양

OD 범위	ID 범위
300-350	210-240
350-400	240-300
400-450	330-350

물리화학적 성질
i.추적요소 단위:ppm

암호	기준	알	칼슘	Cr	구리	철	케이	리	마그네슘	망	이미	의	Zr
PQ100E	전형적인	13	0.5	<0.05	<0.05	0.1	0.1	0.3	0.05	0.05	0.1	1.3	1
	최고	19	1	0.1	0.1	0.5	1	1	0.2	0.2	1	2	2
PQ100EH	전형적인	8	0.6	<0.05	<0.01	0.1	0.1	0.2	0.05	0.05	0.1	1.3	1
	최고	10	1	0.1	<0.01	0.5	0.5	0.5	0.2	0.2	0.5	2	2

ii. OH 내용

PQ100E/ PQ100EH

오<110ppm

iii. 물리적 특성

안건	색인
밀도(g/cm3)	2.2
열전도율(w/m·k,1000°C)	2.28
열팽창 계수(°C-1,1000°C)	5.5×10-7
연화점(°C)	1670년
어닐링 포인트(°C)	1210